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      晶體定向儀:
      0415-2155900
      傳真電話:
      0415-2155887
      無損探傷儀:
      0415-2150150
      傳真電話:
      0415-2151390
       
      硅單晶定向粘接及晶向復檢儀

      一、設備名稱:YX-Z6型   硅單晶定向粘接及晶向復檢儀   

      二、設備概述:

      用途:YX-Z6系列定向粘接設備,是一款集定向、粘接及復檢功能于一體的高精度、高自動化程度的自動定向粘接設備。是專門用來在切割前的定向、設備可根據用戶的需求,選擇粘接6-12英寸的粘接尺寸,并可兼容6.8英寸,人性的中英文操作界面,方便了用戶與設備的交互,同時操作簡單,對于使用人員的技術要求相對較低。多處重點地區采用了伺服控制系統及絕對值編碼器的全閉環設計,保證了定向精度,儀器具有如下特點:
      主要特點:
      ●高度一體化自動化集成,提供工作效率及產能,降低人工參與產生的誤差。
      ●配合現代化智能工廠集成管理,節省人工成本的同時提高產量。
      ●采用閃爍探測器,接收效率高,最大線性計數≥5×105CPS,分辨率≤50%。
      ●弧形導軌設計,θ,2θ機構伺服電機聯動,精度高,測試速度快,無需校機。
      ●采用臺達300系列中型PLC為控制核心,A2系列高精度伺服電機作為驅動系統,設備整體自動化程度高、故障率極低、抗干擾能力強、系統穩定性好。
      ●全自動測試,一鍵操作,涂膠后自動完成定向粘接。
      ●采用進口高分辨率絕對值編碼器,大大提高測量精度,規避了人工測量的讀數誤差,極大降低了操作者的勞動強度和操作難度。
      ●具有峰值放大的特殊積分器,采用高壓模塊器件,提高檢測精度;
      ●光柵自動控制關閘設計,只在必要時打開,安全方便無隱患;
      ●全自動激光定位notch,精確度高,重復性好。
      ●高精度壓力檢測傳感,實施壓力補償,恒壓控制粘接。
      ●全伺服自動定位,位置控制,速度控制精確,效率高。
      ●數據可掃碼,可打印實現機臺每根晶棒自帶身份數據。
      ●測量數據可通過USB存儲到U盤等移動存儲設備,轉化成Excel也可與DCS集成控制系統對接,實現大數據集中管理。

       

      三、設備技術參數

       

      項 目

      參 數

      測量項目

      6.8.12英寸硅單晶棒

      測量范圍

      直徑150-300MM,長度180-460MM,重量20-120KG

      設備用途

      單晶棒定向準確角度,粘接,復檢

      NOTCH自動定位

      具備,光點2um,重復定位誤差10um

      左右軸進出定位

      手自動,精度0.1mm

      晶棒壓接壓力檢測

      具備

      晶棒粘接自動定位

      具備

      膠水均勻覆蓋

      脈沖式粘接

      X軸擺動角度自動運行

      具備,精度0.001°

      Y軸轉角角度自動運行

      具備,編碼器直連或電機直轉(精度0.3°)

      料板自動夾緊

      氣動夾持,激光測距定位,精度10um

      晶棒限位檢測

      激光檢測,3mm誤差

      晶棒Y軸偏離檢測及校正

      激光檢測,精度2um

      料板限位檢測

      具備,光電限位

      X-RAY基準點距離重復動作檢測

      激光定位,誤差0.005mm

      X-RAY水平垂直角度重復性誤差及精度

      0.1度

      測角形式

      定角度設定,掃描范圍聯動測試

      入射角顯示形式

      θ:度、分、秒或度

      反射角顯示形式

      2θ:度、分、秒或度

      聯動時間差

      10ms內

      最小讀數

      1″

      靜態測量精度

      ±30″

      樣品峰值測試

      自動尋峰,算法計算

      校準

      校機后免校正

      峰值顯示

      uA表

      多點測量功能

      具備

      偏角度測量

      具備

      自動計算晶棒粘接數據

      算法自動計算

      晶棒粘接復檢綜合精度

      0.05°

      保存測量結果

      條碼打印,數據上傳,U盤

      保護

      高壓聯鎖保護,溫度保護.

      防護

      具備

      控制單元

      可編程邏輯控制器,觸摸屏

      電機

      步進,伺服電機

      粘接效率

      40根/24H(粘接時間30分鐘)

      粘接成品率

      98%

       

       

       

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